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  2. 刻蝕設(shè)備
  3. 晶圓化學(xué)鍍鎳鈀金設(shè)備
  4. FHD沉積設(shè)備
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全自動(dòng)水平式濕法刻蝕設(shè)備
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全自動(dòng)水平式濕法刻蝕設(shè)備，利用EFEM晶圓傳輸模塊實(shí)現(xiàn)晶圓全自動(dòng)工藝運(yùn)行.
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.產(chǎn)能高，WPH高； 2.優(yōu)秀的腔體環(huán)境； 3.高效的化學(xué)品回收系統(tǒng)； 4.支持多種化學(xué)品； 5.刻蝕均勻性好； 6.優(yōu)秀的干燥效果。
應(yīng)用領(lǐng)域
晶圓制造等
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沒有產(chǎn)品了
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