設備名稱：全自動晶圓電鍍設備
設備系列：SP系列
設備分類：生產(chǎn)型（P），研發(fā)型（R）
工藝類別：晶圓電鍍
晶圓尺寸：4-12inch
工藝類型：Au，Cu，Ni，Sn，Ag，Pd，Au/Sn alloy …
工藝應用：RDL，PillarBumpTSV
工藝操作：自動
晶圓類型：Si，GaAs，GaN，InP，SiC，Ceramic，Glass …
晶圓尺寸：2-12inch

1.兼容12inch與8inch wafer；
2.全自動運行，foupin-foupout；
3.dry in- dry out ；
4.程式可自由選擇鍍Cu or 鍍Cu/Sn or 鍍Au，自由切換；
5.掃碼或RFID感應自動選擇程式，無需操作員選擇；
6.不銹鋼SUS316骨架，包覆NPP，結(jié)實且
耐腐蝕 ；
7.工控機+PLC控制，系統(tǒng)穩(wěn)定；
8.Windows操作系統(tǒng)，簡單方便；
9.支持EAP功能；
10.兼容半導體通用SECS/GEM 技術(shù)協(xié)議；
11.具備自動添加功能。

RDL、Pillar、Bump、TSV、TGV